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電阻真空計的校準(zhǔn)
電阻規(guī)管受制造材料、工藝、裝配等方面因素的影響,同型號中不同電阻規(guī)管的性能有所差異。因此,在使用新的電阻規(guī)管時需對真空計進(jìn)行零點(diǎn)和滿度的校準(zhǔn),以降低測量誤差。另外真空計使用一段時間,或者是環(huán)境溫度變化較大,使真空計在大氣測量狀態(tài)下,顯示值不為105Pa,也要進(jìn)行零點(diǎn)和滿度的校準(zhǔn)。電阻真空計都有零點(diǎn)校準(zhǔn)及滿度校準(zhǔn)按鍵或旋鈕,按照說明書要求進(jìn)行調(diào)校。一般先校準(zhǔn)零點(diǎn),再進(jìn)行滿度校準(zhǔn)。
(1)校準(zhǔn)零點(diǎn)。校準(zhǔn)零點(diǎn)需對被測真空系統(tǒng)抽真空,一旦電離規(guī)測得真空度高于1.0-1P?。ㄈ?.9*10-2Pa),按“校零”按鈕,對應(yīng)指示燈亮或快速閃爍,真空計自動校正零點(diǎn),當(dāng)顯示1.0-1Pa時,表示規(guī)管零點(diǎn)已校準(zhǔn)。對于無自動零點(diǎn)校準(zhǔn)的電阻真空計,可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調(diào)整。
(2)滿度校正。校準(zhǔn)完零點(diǎn)后,需對其滿度校正。按滿度校正過程要求,對被測爐腔放入大氣,確保被校電阻規(guī)所測位置為大氣狀態(tài),在大氣壓下工作約10分鐘。按“滿度”按鈕,對應(yīng)指示燈亮或快速閃爍,真空計自動校正滿度,當(dāng)顯示1.05Pa時,表示規(guī)管滿度已校準(zhǔn)。對于無自動滿度校準(zhǔn)的電阻真空計,可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調(diào)整。
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